ELECTROMAGNETIC-ACOUSTIC TRANSDUCER FOR INSPECTION OF WAFERS WITH NON-PARALLEL EDGES,申请号SU19864061968-传众专利搜索

发明名称	ELECTROMAGNETIC-ACOUSTIC TRANSDUCER FOR INSPECTION OF WAFERS WITH NON-PARALLEL EDGES
摘要
申请公布号	SU1434360(A1)	申请公布日期	1988.10.30
申请号	SU19864061968	申请日期	1986.04.25
申请人	CH POLT I IM.LENINSKOGO KOMSOMOLA	发明人	VOLEGOV YURIJ V,SU;GUREVICH SERGEJ YU,SU;TOLIPOV KHORIS B,SU
分类号	G01N29/24;G01N29/04	主分类号	G01N29/24
代理机构		代理人
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