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发明名称 MANUFACTURE OF THIN METALLIC FILM
摘要
申请公布号 JPH01152261(A) 申请公布日期 1989.06.14
申请号 JP19870309852 申请日期 1987.12.08
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 SUZUKI SHIGEO;YAMAMOTO YOSHIAKI;ANDO TOMOAKI
分类号 C23C14/34;C23C14/20;C23C14/24;C23C14/56 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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