发明名称 METALLISATION PLANT
摘要
申请公布号 EP0068738(B1) 申请公布日期 1988.04.20
申请号 EP19820303153 申请日期 1982.06.17
申请人 ITT INDUSTRIES INC.;ITT INDUSTRIES LIMITED 发明人 HEINECKE, RUDOLF AUGUST HERBERT;STERN, RONALD CARL;COOKE, MICHAEL JOSEPH
分类号 B01D8/00;C23C16/06;C23C16/44;C23C16/448;C23C16/52;C23C16/54;(IPC1-7):C23C16/06;H05K3/00;H01L21/285 主分类号 B01D8/00
代理机构 代理人
主权项
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