| 发明名称 |
IMPROVED PHOTOCHEMICAL VAPOR DEPOSITION METHOD |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP0054189(B1) |
申请公布日期 |
1988.04.20 |
| 申请号 |
EP19810109700 |
申请日期 |
1981.11.14 |
| 申请人 |
HUGHES AIRCRAFT COMPANY |
发明人 |
PETERS, JOHN W.;GEBHART, FRANK L. |
| 分类号 |
B01J19/12;C23C16/04;C23C16/48;H01L21/31;H01L21/318;(IPC1-7):C23C14/28;B01J19/08;H01L21/363;H01L21/203 |
主分类号 |
B01J19/12 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
