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发明名称 VAPOR PHASE REACTION APPARATUS AND METHOD FOR CONTROLLING SAID APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS6389668(A) 申请公布日期 1988.04.20
申请号 JP19860236005 申请日期 1986.10.03
申请人 HITACHI ELECTRONICS ENG CO LTD 发明人 OYAMA KATSUMI;TAKAMI KATSUMI;KISHIMOTO SATORU;MURAKAWA YUKIO;TANIGUCHI KAZUO;TAIRA KIWAMU;HIKIMA HITOSHI
分类号 H01L21/31;C23C16/40;C23C16/44;C23C16/52 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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