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经营范围
发明名称
VAPOR GROWTH APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH01220433(A)
申请公布日期
1989.09.04
申请号
JP19880046005
申请日期
1988.02.29
申请人
NEC CORP
发明人
HASENO YOSHIO
分类号
C30B25/14;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/205
主分类号
C30B25/14
代理机构
代理人
主权项
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