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发明名称 SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6389663(A) 申请公布日期 1988.04.20
申请号 JP19860236482 申请日期 1986.10.03
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 FUJITA YOSUKE;TODA TAKAO;KUWATA JUN;NISHIKAWA MASAHIRO;MATSUOKA TOMIZO;ABE ATSUSHI
分类号 H01L21/302;C23C14/35;C23C14/36;H01L21/203;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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