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发明名称 DEVICE FOR FORMING FUNCTIONAL DEPOSITED FILM BY MICROWAVE PLASMA CVD METHOD
摘要
申请公布号 JPS6389670(A) 申请公布日期 1988.04.20
申请号 JP19860231304 申请日期 1986.10.01
申请人 CANON INC 发明人 TAKEI TETSUYA
分类号 C23C16/24;C23C16/30;C23C16/50;C23C16/511;C23C16/54;G03G5/08;H01L21/205;H01L31/08 主分类号 C23C16/24
代理机构 代理人
主权项
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