| 摘要 |
<p>Es ist eine Vertikalhorde aus Quarzglas für die horizontale Lagerung von runden, quadratischen oder rechteckigen Substratscheiben mit konstanter Dicke mit mindestens zwei sich vertikal erstreckenden an einer Grundplatte angeordneten Profilstäben, die parallel zu der Vertikalachse der Horde verlaufen und in etwa horizontale Schlitze zur Aufnahme der Scheiben aufweisen, bekannt, wobei die mindestens zwei Profilstäbe derart angeordnet sind, daß sie den gleichen Abstand von der Vertikalachse haben. Um eine Vertikalhorde der genannten Art so auszugestalten, daß eine Deformation der Horden während des Einsatzes nicht auftritt, sind die mindestens zwei Profilstäbe symmetrisch zu zwei senkrecht aufeinanderstehenden Ebenen, deren Schnittlinie mit der Vertikalachse zusammenfällt, angeordnet.</p> |
