发明名称 VERFAHREN ZUR SEKUNDAERPASSIVIERUNG VON HALBLEITERBAUELEMENTEN
摘要
申请公布号 DD256020(A1) 申请公布日期 1988.04.20
申请号 DD19860296112 申请日期 1986.11.10
申请人 TECHNISCHE UNIVERSITAET DRESDEN,DD 发明人 BUETTNER,RONALD,DD;WEBER,HELMUT,DD;RUTHENDORF,GUENTER VON,DD
分类号 H01L21/56;(IPC1-7):H01L21/56 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
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