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发明名称 A METHOD OF PRODUCING A THIN SEMICONDUCTOR LAYER
摘要
申请公布号 EP0207272(A3) 申请公布日期 1988.04.20
申请号 EP19860106713 申请日期 1986.05.16
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 ABERNATHEY, JOHN ROBERT;LASKY, JEROME BRETT;NESBIT, LARRY ALAN;SEDGWICK, THOMAS OLIVER;STIFFLER, SCOTT RICHARD
分类号 H01L21/02;H01L21/20;H01L21/265;H01L21/316;H01L21/84;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/205;H01L21/18;H01L21/306 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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