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摘要
申请公布号
JPS6388492(A)
申请公布日期
1988.04.19
申请号
JP19860233501
申请日期
1986.10.01
申请人
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD
发明人
SUZUKI MASAKI
分类号
G05D3/00;G01B21/00;G12B5/00;H01L21/68
主分类号
G05D3/00
代理机构
代理人
主权项
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