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发明名称 MANUFACTURE OF MASTER SLICE SYSTEM LARGE-SCALED SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6387745(A) 申请公布日期 1988.04.19
申请号 JP19860234081 申请日期 1986.09.30
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 SATO HISAYASU
分类号 H01L27/118;H01L21/82 主分类号 H01L27/118
代理机构 代理人
主权项
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