| 发明名称 |
REFLECTION MIRROR CONSISTING OF MULTI-LAYERED FILM FOR SOFT X-RAY AND VACUUM ULTRAVIOLET RAY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6388501(A) |
申请公布日期 |
1988.04.19 |
| 申请号 |
JP19860231245 |
申请日期 |
1986.10.01 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
FUKUDA YOSHIAKI;WATANABE YUTAKA;OGURA SHIGETARO |
| 分类号 |
G21K1/06;G02B5/08;G02B5/28 |
主分类号 |
G21K1/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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