发明名称 APPARAT TIL TRAEKNING AF ENKRYSTALLER
摘要
申请公布号 DK209788(D0) 申请公布日期 1988.04.18
申请号 DK19880002097 申请日期 1988.04.18
申请人 LEYBOLD AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 DRECHSEL, DIETER;JERICHO, KARL
分类号 C30B15/12;C30B15/14;H01L21/18;(IPC1-7):C30B15/10 主分类号 C30B15/12
代理机构 代理人
主权项
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