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发明名称
PHOTOCHEMICAL REACTION UTILIZING DEVICE
摘要
申请公布号
JPS6386880(A)
申请公布日期
1988.04.18
申请号
JP19860232734
申请日期
1986.09.30
申请人
FUJI ELECTRIC CO LTD
发明人
SHIMIZU AKINORI
分类号
H01L21/302;C23C16/40;C23C16/48;C23F4/00;C23F4/04;H01L21/205;H01L21/263;H01L21/31
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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