发明名称 METHOD OF FORMING CAPACITOR ON SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPS6386465(A) 申请公布日期 1988.04.16
申请号 JP19870175037 申请日期 1987.07.15
申请人 INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> 发明人 REIMONDO AREN MAGURI;TERENSU PATORITSUKU MAKUKAFUEREI
分类号 H01L27/088;H01L21/822;H01L21/8234;H01L27/04;H01L27/08 主分类号 H01L27/088
代理机构 代理人
主权项
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