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发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING APPARATUS
摘要
申请公布号
JPS6386511(A)
申请公布日期
1988.04.16
申请号
JP19860232695
申请日期
1986.09.30
申请人
NEC CORP
发明人
TOYODA ARATA
分类号
H01L21/22
主分类号
H01L21/22
代理机构
代理人
主权项
地址
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