发明名称 VAPOR GROWTH METHOD FOR III-V COMPOUND SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPS6386422(A) 申请公布日期 1988.04.16
申请号 JP19860229735 申请日期 1986.09.30
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 UNNO HITOSHI
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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