| 发明名称 |
FORMATION OF THIN FILM COMPONENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6386524(A) |
申请公布日期 |
1988.04.16 |
| 申请号 |
JP19860231692 |
申请日期 |
1986.09.30 |
| 申请人 |
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> |
发明人 |
WADA TSUTOMU;KATO KINYA |
| 分类号 |
H01L31/04;C03C15/00;H01L21/306;H01L27/12 |
主分类号 |
H01L31/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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