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发明名称 ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY METHOD
摘要
申请公布号 JPS6386432(A) 申请公布日期 1988.04.16
申请号 JP19860229858 申请日期 1986.09.30
申请人 TOSHIBA CORP;TOSHIBA MACH CO LTD 发明人 NAKASUJI MAMORU;MURAGUCHI TOSHIYA;IKEDA MASAMI
分类号 H01L21/027;H01L21/30 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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