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发明名称 PHOTORESIST COATING METHOD
摘要
申请公布号 JPS6386433(A) 申请公布日期 1988.04.16
申请号 JP19860229743 申请日期 1986.09.30
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 KITAURA YOSHIAKI;MIZOGUCHI TAKAMARO
分类号 B05C11/08;B05D1/40;G03F7/16;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 B05C11/08
代理机构 代理人
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