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发明名称 SEMICONDUCTOR WAFER PROCESSOR
摘要
申请公布号 JPS6386540(A) 申请公布日期 1988.04.16
申请号 JP19860231991 申请日期 1986.09.30
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 KARASAWA WATARU
分类号 H01L21/66;H01L21/68 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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