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发明名称
PROCEDE ET DISPOSITIF DE DEPOT PAR CROISSANCE EPITAXIALE D'UN MATERIAU DOPE
摘要
申请公布号
FR2578095(B1)
申请公布日期
1988.04.15
申请号
FR19850002976
申请日期
1985.02.28
申请人
AVITAYA FRANCOIS D
发明人
分类号
C30B23/02;H01L21/203;H01L21/26;(IPC1-7):H01L21/203
主分类号
C30B23/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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