| 摘要 |
<P>LE DISPOSITIF D'OPTIQUE ELECTRONIQUE SELON L'INVENTION COMPORTE, ENTRE UNE SOURCE DE PARTICULES S ET UN OBJET O, DONT ON SOUHAITE PROJETER UNE IMAGE DANS UN PLAN IMAGE, UN JEU DE TROIS LENTILLES L, L, L A FOCALES COMMANDABLES ELECTRONIQUEMENT, LA PREMIERE ETANT SITUEE AUSSI PRES QUE POSSIBLE DE LA SOURCE ET ASSOCIEE, DANS SON PLAN PRINCIPAL OU DANS UN VOISINAGE DE CE PLAN, A UN DIAPHRAGME DE LIMITATION D'OUVERTURE, D, L'OBJET ETANT PLACE DANS LE PLAN PRINCIPAL DE LA TROISIEME LENTILLE OU DANS SON VOISINAGE, LES FOCALES DE CES TROIS LENTILLES ETANT COMMANDEES POUR DONNER A LA SECTION DU FAISCEAU ELECTRONIQUE DANS LE PLAN OBJET UNE VALEUR DETERMINANT L'ILLUMINATION SOUHAITEE ET A L'IMAGE DU DIAPHRAGME UN DIAMETRE ET UNE POSITION DETERMINANT L'OUVERTURE SOUHAITEE DU FAISCEAU.</P><P>APPLICATION, NOTAMMENT, AUX SYSTEMES DE MICROLITHOGRAPHIE PAR FAISCEAU D'ELECTRONS.</P>
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