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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES VERLUSTARMEN METALLISIERUNGSSYSTEMS
摘要
申请公布号 DD295278(A5) 申请公布日期 1991.10.24
申请号 DD19900341683 申请日期 1990.06.14
申请人 AKADEMIE DER WISSENSCHAFTEN DER DDR,DE 发明人 ROHDE,HANS-JOACHIM,DE;SCHARMACH,MARTINA,DE
分类号 H01L21/283;(IPC1-7):H01L21/283 主分类号 H01L21/283
代理机构 代理人
主权项
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