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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR CRYSTAL LAYER
摘要
申请公布号 JPS6384013(A) 申请公布日期 1988.04.14
申请号 JP19860227185 申请日期 1986.09.27
申请人 AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL 发明人 INOUE TOMOYASU;HAMAZAKI TOSHIHIKO
分类号 H01L21/20;H01L21/263 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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