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发明名称
VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER MASKE FUER EIN HALBLEITER-SUBSTRAT
摘要
申请公布号
DE3731897(A1)
申请公布日期
1988.04.14
申请号
DE19873731897
申请日期
1987.09.23
申请人
HEWLETT-PACKARD CO.
发明人
LIU,HUA-YU;D. LIU,EN-DEN
分类号
H01L21/027;G03F7/38;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/26;G03F7/10
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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