发明名称 VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER MASKE FUER EIN HALBLEITER-SUBSTRAT
摘要
申请公布号 DE3731897(A1) 申请公布日期 1988.04.14
申请号 DE19873731897 申请日期 1987.09.23
申请人 HEWLETT-PACKARD CO. 发明人 LIU,HUA-YU;D. LIU,EN-DEN
分类号 H01L21/027;G03F7/38;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/26;G03F7/10 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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