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发明名称 INTERCONNECTION STRUCTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPS6384136(A) 申请公布日期 1988.04.14
申请号 JP19860231039 申请日期 1986.09.29
申请人 NEC CORP 发明人 YAMAMURA SHIGEHARU
分类号 H01L21/74;H01L21/3205;H01L21/76;H01L21/762;H01L23/52 主分类号 H01L21/74
代理机构 代理人
主权项
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