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发明名称 VAPOR GROWTH APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS6384016(A) 申请公布日期 1988.04.14
申请号 JP19860227695 申请日期 1986.09.26
申请人 SUMITOMO METAL IND LTD 发明人 SHIGEMATSU TATSUHIKO;MURAKAWA KENSAKU;SUGAWARA SHIGEO;MORI MIKIO;SAKAMOTO JUNICHI
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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