发明名称 SEMICONDUCTOR PROCESSOR
摘要
申请公布号 JPS6384019(A) 申请公布日期 1988.04.14
申请号 JP19860229258 申请日期 1986.09.26
申请人 SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD 发明人 HAYASHI SHIGENORI;HIROSE NAOKI
分类号 H01L21/302;H01L21/205;H01L21/263;H01L21/31 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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