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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6384154(A) 申请公布日期 1988.04.14
申请号 JP19860228203 申请日期 1986.09.29
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 MATSUDA TETSURO;IWABUCHI SHUICHI
分类号 H01L29/43;H01L21/28;H01L21/768 主分类号 H01L29/43
代理机构 代理人
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