发明名称 | 一种光电阴极导电基底 | ||
摘要 | 提出了一种新的光电阴极导电基底,此种导电基底是通过在光电阴极玻璃窗上真空镀铬1000厚,用铬板进行光刻,通过腐蚀,在光电阴极玻璃窗上形成了任意走向的线宽为2~4μm和铬网。这种光电阴极导电基底的面电阻率低于300μΩ/□,光透过率大于80%,并与任何半导体光电阴极相容。由于该导电网络走向是随机的,光电器件的空间分辨率不受莫尔现象的影响。 | ||
申请公布号 | CN87106900A | 申请公布日期 | 1988.04.13 |
申请号 | CN87106900 | 申请日期 | 1987.10.10 |
申请人 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 发明人 | 牛憨笨 |
分类号 | H01J1/34;H01L31/02 | 主分类号 | H01J1/34 |
代理机构 | 中国科学院西安专利事务所 | 代理人 | 顾伯勋;谢碧华 |
主权项 | 1、一种超快速光电器件的半导体光电阴极导电基底,其特征在于在光电阴极玻璃窗上真空镀铬约1000<img file="87106900_IMG2.GIF" wi="28" he="43" />厚,采用铬板进行光刻,通过腐蚀,在光电阴极玻璃窗上形成任意走向的线宽为2~4μm的铬网。 | ||
地址 | 陕西省西安市友谊西路74号 |