发明名称 一种光电阴极导电基底
摘要 提出了一种新的光电阴极导电基底,此种导电基底是通过在光电阴极玻璃窗上真空镀铬1000厚,用铬板进行光刻,通过腐蚀,在光电阴极玻璃窗上形成了任意走向的线宽为2~4μm和铬网。这种光电阴极导电基底的面电阻率低于300μΩ/□,光透过率大于80%,并与任何半导体光电阴极相容。由于该导电网络走向是随机的,光电器件的空间分辨率不受莫尔现象的影响。
申请公布号 CN87106900A 申请公布日期 1988.04.13
申请号 CN87106900 申请日期 1987.10.10
申请人 中国科学院西安光学精密机械研究所 发明人 牛憨笨
分类号 H01J1/34;H01L31/02 主分类号 H01J1/34
代理机构 中国科学院西安专利事务所 代理人 顾伯勋;谢碧华
主权项 1、一种超快速光电器件的半导体光电阴极导电基底,其特征在于在光电阴极玻璃窗上真空镀铬约1000<img file="87106900_IMG2.GIF" wi="28" he="43" />厚,采用铬板进行光刻,通过腐蚀,在光电阴极玻璃窗上形成任意走向的线宽为2~4μm的铬网。
地址 陕西省西安市友谊西路74号