| 发明名称 |
CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION METHOD AND APPARATUS THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2195663(A) |
申请公布日期 |
1988.04.13 |
| 申请号 |
GB19870019166 |
申请日期 |
1987.08.13 |
| 申请人 |
* NIPPON TELEGRAPH AND TELEPHONE CORPORATION |
发明人 |
TAKAO * AMAZAWA;HIROAKI * NAKAMURA |
| 分类号 |
C23C16/18;C23C16/22;C23C16/455;H01L29/417;H01L29/423;H01L29/45;H01L29/49;(IPC1-7):C23C16/44 |
主分类号 |
C23C16/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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