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发明名称
CARRYING MECHANISM FOR SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号
JPS6382973(A)
申请公布日期
1988.04.13
申请号
JP19860222821
申请日期
1986.09.19
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
HIRAKO MASAYOSHI
分类号
B65D85/38;H01L21/673;H01L21/68;H01L23/00
主分类号
B65D85/38
代理机构
代理人
主权项
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