Sensor element for ascertaining the concentrations of substances.

摘要

Bekannte Sensorelemente zur optischen Bestimmung von Stoffkonzentrationen in gasförmigen und flüssigen Proben, bei welchen in einer Indikatorschicht die mit der Probe in Wechselwirkung stehende Indikatorsubstanz vorliegt, sind - bedingt durch ihre Grösse bzw. jene der Einrichtungen zur Fluoreszenzlichtmessung - nur bedingt für Mikroanalysengeräte geeignet. Ausserdem wird die Anregungsstrahlung nur ungenügend ausgenützt. Zur Umgehung dieser Nachteile wird vorgeschlagen, die fotoempfindlichen Elemente (3) in Form von Mikrostrukturen zusammen mit ihren elektrischen Kontaktierungen in planarer Anordnung im Sensorelement zu integrieren sowie die Indikatorschicht (8) als Wellenleiter auszubilden, in welche die Anregungsstrahlung (11) mittels eines optischen Elements (13, 14) eingekoppelt wird.