| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6382379(A) |
申请公布日期 |
1988.04.13 |
| 申请号 |
JP19860226008 |
申请日期 |
1986.09.26 |
| 申请人 |
HITACHI MICRO COMPUT ENG LTD;HITACHI LTD |
发明人 |
SHIBATA HISAO;MORIUCHI HISAHIRO;SHIBATA TAKASHI |
| 分类号 |
H01L27/10;G01R31/28;H01L21/66;H01L21/822;H01L27/04 |
主分类号 |
H01L27/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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