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发明名称 MASKING PORTIONS OF A SUBSTRATE
摘要
申请公布号 EP0082189(B1) 申请公布日期 1988.04.13
申请号 EP19820902306 申请日期 1982.06.17
申请人 WESTERN ELECTRIC COMPANY, INCORPORATED 发明人 HOLBROOK, WALTER RAYMOND;SPONSLER, WILLIAM ALEXANDER
分类号 G03F7/11;C23C14/04;H01L21/033;H01L21/265;H01L21/266;(IPC1-7):B05D3/06 主分类号 G03F7/11
代理机构 代理人
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