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发明名称 ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6383286(A) 申请公布日期 1988.04.13
申请号 JP19860228654 申请日期 1986.09.27
申请人 ANELVA CORP 发明人 NOMA KOJI;SEKIGUCHI ATSUSHI;TAKAGI SHINJI
分类号 C23F4/00 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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