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发明名称 ORGANOMETALLIC COMPOUND
摘要
申请公布号 JPS6383092(A) 申请公布日期 1988.04.13
申请号 JP19870229965 申请日期 1987.09.16
申请人 MERCK PATENT GMBH 发明人 DEIITORITSUHI ERUDOMAN;MATSUKUSU EMANIYUERU FUAN GEEMEN;RUUTOBUITSUHI POORU;HERUBERUTO SHIYUUMAN;UUBUE HARUTOMAN;BUIRUFURIITO WATSUSERUMAN;MAINO HEIEN;HORUGAA YURUGENSEN
分类号 C07F5/00;C07F5/06;C23C16/18;C23C16/20;C30B25/02;C30B29/40;H01L21/205 主分类号 C07F5/00
代理机构 代理人
主权项
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