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发明名称 FILM THICKNESS MEASURING APPARATUS USING SPECIMEN ROTATION TYPE INTERFERENCE METHOD
摘要
申请公布号 JPS6382306(A) 申请公布日期 1988.04.13
申请号 JP19860227526 申请日期 1986.09.26
申请人 AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL;UNION KOGAKU KK 发明人 MATSUDA JOJI;KIKUCHI YASUTAKA;NAMIKI MICHIO
分类号 G01B11/06 主分类号 G01B11/06
代理机构 代理人
主权项
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