| 发明名称 |
DRY ETCHING DEVICE AND ITS CONTROLLING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6381926(A) |
申请公布日期 |
1988.04.12 |
| 申请号 |
JP19860226011 |
申请日期 |
1986.09.26 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI MICRO COMPUT ENG LTD |
发明人 |
HIROBE YOSHIMICHI;KAWAMURA KOICHIRO |
| 分类号 |
H01L21/302;C23F1/00;C23F4/00;H01L21/3065 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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