发明名称 LAMP FOR ULTRAVIOLET LIGHT SOURCE
摘要
申请公布号 JPS6381751(A) 申请公布日期 1988.04.12
申请号 JP19860229255 申请日期 1986.09.26
申请人 SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD 发明人 HAYASHI SHIGENORI;HIROSE NAOKI;INUSHIMA TAKASHI;ITO KENJI
分类号 H01J61/32 主分类号 H01J61/32
代理机构 代理人
主权项
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