发明名称 ETCHING
摘要
申请公布号 JPS6381825(A) 申请公布日期 1988.04.12
申请号 JP19860225893 申请日期 1986.09.26
申请人 FUJITSU LTD 发明人 FUJIOKA HIROSHI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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