| 发明名称 |
MANUFACTURE OF FINE HOLLOW CHAMBER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6381983(A) |
申请公布日期 |
1988.04.12 |
| 申请号 |
JP19860227375 |
申请日期 |
1986.09.26 |
| 申请人 |
YOKOGAWA ELECTRIC CORP |
发明人 |
IKEDA KYOICHI;WATANABE TETSUYA |
| 分类号 |
C30B25/02;C30B29/06;H01L21/205;H01L21/306;H01L29/84 |
主分类号 |
C30B25/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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