| 发明名称 |
FORMATION OF THIN FILM USING NOZZLE MOLECULAR BEAM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6381810(A) |
申请公布日期 |
1988.04.12 |
| 申请号 |
JP19860226408 |
申请日期 |
1986.09.25 |
| 申请人 |
TOYOTA MOTOR CORP |
发明人 |
FURUNO SHIGEO;IGUCHI SATORU;HANABUSA MITSUGI |
| 分类号 |
H01L31/04;C23C16/24;C23C16/48;G03G5/08;H01L21/205 |
主分类号 |
H01L31/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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