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发明名称 BONDING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6381937(A) 申请公布日期 1988.04.12
申请号 JP19860226050 申请日期 1986.09.26
申请人 HITACHI LTD 发明人 SAKAMOTO MINORU;OSHINO TOSHIKAZU;OKAMOTO MICHIO
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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