发明名称 ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6381932(A) 申请公布日期 1988.04.12
申请号 JP19860226058 申请日期 1986.09.26
申请人 HITACHI LTD 发明人 YAMAGUCHI TATSUYA;SAITO YOSHIO
分类号 C23F1/00;H01L21/306 主分类号 C23F1/00
代理机构 代理人
主权项
地址