发明名称 IMAGE CORRECTING DEVICE FOR SCANNING ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPS6380453(A) 申请公布日期 1988.04.11
申请号 JP19860223522 申请日期 1986.09.24
申请人 HITACHI LTD 发明人 HONMA KOICHI;FURUYA HISAHIRO;MAEDA AKIRA;FURUMURA FUMINOBU;IIIZUMI TAKASHI
分类号 H01J37/22;H01J37/28 主分类号 H01J37/22
代理机构 代理人
主权项
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