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发明名称 REACTIVE ION ETCHING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS6380536(A) 申请公布日期 1988.04.11
申请号 JP19860226804 申请日期 1986.09.24
申请人 NEC CORP 发明人 INAGAKI NAOKI
分类号 H01L21/302;C23F1/00;C23F4/00;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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